产品导航
金属滤袋在微电子行业中的应用
时间:   来源:www.hzshenlong.com   点击:
金属滤袋在微电子行业中的应用主要集中在以下几个方面:1. 超净室空气过滤:在微电子器件的制造过程中,超净室的空气质量直接影响到半导体晶圆、集成电路(IC)等产品

金属滤袋在微电子行业中的应用主要集中在以下几个方面:

1. 超净室空气过滤:在微电子器件的制造过程中,超净室的空气质量直接影响到半导体晶圆、集成电路(IC)等产品的质量。金属滤袋因其耐高温、耐腐蚀和易于清洁的特性,常用于超净室的空气净化系统中,作为初效或中效过滤器,有效去除空气中的大颗粒尘埃和微生物,为后续的精密制造提供一个高度洁净的环境。

 

2. 化学液体过滤:在芯片制造过程中,需要使用大量的化学试剂和溶剂,金属滤袋用于这些化学液体的过滤,去除其中的杂质和颗粒物,保证化学处理过程的纯净度,减少对晶圆表面的污染,从而提高芯片的良品率。

 

3. 气体过滤:在气体配送系统中,如用于蚀刻、沉积等工艺的特殊气体(如硅烷、氟化物气体等),金属滤袋用于气体的预过滤,去除气体中的杂质和微粒,保护下游精密设备,防止污染,同时也能耐受气体处理过程中的高温和腐蚀性。

 

金属滤袋


4. 废水处理:微电子生产过程中产生的废水含有多种化学物质,金属滤袋可用于废水处理系统,过滤去除水中的悬浮固体、金属离子和其他污染物,有助于达到环保排放标准,减少对环境的影响。

 

5. 设备保护:在微电子生产设备的进气口或排气系统中,金属滤袋用于捕捉可能损坏精密设备的颗粒物,如在光刻、溅射、蒸镀等设备中,保护昂贵的设备免受污染和损害。

 

6. 特殊材料回收:在某些特定的生产环节,如贵金属回收过程中,金属滤袋用于过滤溶液,有效回收利用贵重金属,如金、银等,减少资源浪费,提高经济效益。


电话:0571-86940066 153-5571-1855   邮箱:guolvdai@qq.com   浙ICP备14040208号-2  浙公网安备 33010502006880号   www.hzshenlong.com 版权所有