在集成电路清洗用水过滤中，圆盘过滤器是至关重要的设备之一，主要应用于以下几个方面：1. 预过滤阶段： 圆盘过滤器首先用于对进水进行粗过滤，去除水中的悬浮颗粒、微生物和其他宏观杂质，保护后续精密过滤系统不受大颗粒物质的冲击和堵塞。

2. 超纯水制备： 集成电路清洗用水需要达到超纯水级别，圆盘过滤器作为多级净化系统中的一个环节，可以高效去除微米级别的颗粒物，确保水质满足后续EDI（电去离子）或RO（反渗透）膜等深层净化技术的进水要求。

3. 颗粒物控制： 集成电路生产过程中，即使是最微小的颗粒也可能导致产品失效，因此，圆盘过滤器必须确保清洗用水的颗粒物含量极低，以防止颗粒物在清洗过程中附着在芯片表面。

4. 连续净化与循环利用： 集成电路清洗过程中使用的超纯水往往需要循环利用，圆盘过滤器在循环系统中可以连续过滤清洗用水，去除清洗过程中产生的微粒和杂质，维持水质的稳定性和纯度。

5. 环保与经济效益： 通过圆盘过滤器的高效过滤，不仅有助于提高集成电路的良品率，还能减少水资源浪费，符合产业绿色制造和可持续发展的要求。综上所述，圆盘过滤器在集成电路清洗用水过滤中扮演着关键角色，对提升产品品质、保证生产稳定性以及实现资源的有效利用具有重要意义。